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32BF-4M5P精密研磨拋光設(shè)備
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32BF-4M5P精密研磨拋光設(shè)備

主要用于半導(dǎo)體、藍寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨,尤其對于超薄工件的加工具有明顯的優(yōu)勢。
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產(chǎn)品編號
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產(chǎn)品描述
參數(shù)

一、產(chǎn)品用途

 

    主要用于半導(dǎo)體、藍寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨,尤其對于超薄工件的加工具有明顯的優(yōu)勢。

 

二、安裝條件

 

序號

項目

指標要求

1

環(huán)境

室內(nèi)地面平坦、無振動源、無灰塵煙霧污染

2

水源

純水或自來水

3

電源

約70kW  AC380V  50Hz(總功率)

4

氣源

壓縮空氣源 0.6Mpa,接口φ16mm(外徑)

5

溫度

10℃-25℃

6

相對濕度

≤95%

7

外形尺寸(長x寬x高)

3700x3000x4100mm(含地腳高度及電器柜尺寸)

8

主機重量

28000Kg

9

主機顏色

BH白或訂制

 

 

三、主要特點

 

序號

項目

特點

1

壓力控制

運動控制器+壓力傳感器+電氣比例閥+低摩擦氣缸實現(xiàn)高精度壓力控制,上盤最大使用壓力1200Kg,精度可達2%

2

上盤調(diào)心

采用萬向節(jié)結(jié)構(gòu),調(diào)心靈活,承載力高

3

上盤防落裝置

雙重機械鎖定,安全性更高

4

高精度速度控制

自編程實現(xiàn)低速平穩(wěn)、啟停同步運轉(zhuǎn)控制,內(nèi)外齒圈采用伺服控制,速度控制更精準

5

精密傳動系統(tǒng)

高精度小齒隙全齒輪傳動

6

下盤支撐

高精度流體軸承支撐

7

免維護設(shè)計

齒輪采用自動集中潤滑裝置,關(guān)鍵器件采用進口知名品牌,軸承留有潤滑接口

8

強制散熱系統(tǒng)

軸流風機排熱方式,并預(yù)留抽風接口,用戶可自行連接

9

清洗便捷

低臺面、半裸式接液盆

10

同步升降

齒圈太陽輪同步升降,采用伺服電機拖動,可自動或手動調(diào)節(jié)高度,延長使用壽命

11

游輪精確定位

齒圈太陽輪采用伺服電機拖動,可實現(xiàn)游輪的精確定位

12

水液分離裝置

水液切換程序控制,自動分離,操作便捷,清洗水可自動排放

13

整機減振

防振式結(jié)構(gòu)設(shè)計安裝,設(shè)備更穩(wěn)定

14

防護設(shè)計

齒圈、太陽輪采用不銹鋼制作,接液盆,托盤、拋盤等接觸到工作液的地方均噴涂特氟龍

15

供液系統(tǒng)

桶體設(shè)有排污口,具備溫度、液位監(jiān)測,具有加熱和冷卻功能,具有液泵和攪拌泵,出口設(shè)有過濾器,管路設(shè)有流量監(jiān)測,能在線實時檢測流量

16

自動測厚

設(shè)備裝有機械測厚系統(tǒng),能在線實時檢測工件加工厚度

17

分級管理

密碼分級管理,不同人員具有不同的操作權(quán)限

18

工藝適用性

程序控制

可儲存多套工藝參數(shù),每套工藝可達20步,工藝參數(shù)設(shè)置包括(壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等)

 

速比搭配

四電機獨立同步拖動,上下盤、內(nèi)齒、外齒(即可正轉(zhuǎn),也可反轉(zhuǎn))轉(zhuǎn)速可任意設(shè)定,具有配方功能

未找到相應(yīng)參數(shù)組,請于后臺屬性模板中添加

產(chǎn)品推薦

公司致力于集設(shè)備、工藝、輔料為一體的設(shè)備銷售業(yè)務(wù);提供國內(nèi)外各廠商生產(chǎn)的研磨,拋光機的備件(齒圈,太陽輪,研盤,齒輪等)銷售業(yè)務(wù),承攬各類研、拋設(shè)備的大修業(yè)務(wù)。我們將竭誠為客戶提供性價比優(yōu)的產(chǎn)品、快捷的貨期及時、周到的服務(wù)。

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