CDU智能液桶
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32BF-4M5L精密雙面平面研磨機(jī)
一、產(chǎn)品用途
主要用于半導(dǎo)體、藍(lán)寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨,尤其對(duì)于超薄工件的加工具有明顯的優(yōu)勢(shì)。
二、安裝條件
序號(hào) |
項(xiàng)目 |
指標(biāo)要求 |
1 |
環(huán)境 |
室內(nèi)地面平坦、無(wú)振動(dòng)源、無(wú)灰塵煙霧污染 |
2 |
水源 |
純水或自來(lái)水 |
3 |
電源 |
約70kW AC380V 50Hz(總功率) |
4 |
氣源 |
壓縮空氣源 0.6Mpa,接口φ16mm(外徑) |
5 |
溫度 |
10℃-25℃ |
6 |
相對(duì)濕度 |
≤95% |
7 |
外形尺寸(長(zhǎng)x寬x高) |
3700x3000x4100mm(含地腳高度及電器柜尺寸) |
8 |
主機(jī)重量 |
28000Kg |
9 |
主機(jī)顏色 |
BH白或訂制 |
三、主要特點(diǎn)
序號(hào) |
項(xiàng)目 |
特點(diǎn) |
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1 |
壓力控制 |
運(yùn)動(dòng)控制器+壓力傳感器+電氣比例閥+低摩擦氣缸實(shí)現(xiàn)高精度壓力控制,上盤(pán)最大使用壓力1200Kg,精度可達(dá)2% |
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2 |
上盤(pán)調(diào)心 |
采用萬(wàn)向節(jié)結(jié)構(gòu),調(diào)心靈活,承載力高 |
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3 |
上盤(pán)防落裝置 |
雙重機(jī)械鎖定,安全性更高 |
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4 |
高精度速度控制 |
自編程實(shí)現(xiàn)低速平穩(wěn)、啟停同步運(yùn)轉(zhuǎn)控制,內(nèi)外齒圈采用伺服控制,速度控制更精準(zhǔn) |
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5 |
精密傳動(dòng)系統(tǒng) |
高精度小齒隙全齒輪傳動(dòng) |
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6 |
下盤(pán)支撐 |
高精度流體軸承支撐 |
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7 |
免維護(hù)設(shè)計(jì) |
齒輪采用自動(dòng)集中潤(rùn)滑裝置,關(guān)鍵器件采用進(jìn)口知名品牌,軸承留有潤(rùn)滑接口 |
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8 |
強(qiáng)制散熱系統(tǒng) |
軸流風(fēng)機(jī)排熱方式,并預(yù)留抽風(fēng)接口,用戶可自行連接 |
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9 |
清洗便捷 |
低臺(tái)面、半裸式接液盆 |
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10 |
同步升降 |
齒圈太陽(yáng)輪同步升降,采用伺服電機(jī)拖動(dòng),可自動(dòng)或手動(dòng)調(diào)節(jié)高度,延長(zhǎng)使用壽命 |
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11 |
游輪精確定位 |
齒圈太陽(yáng)輪采用伺服電機(jī)拖動(dòng),可實(shí)現(xiàn)游輪的精確定位 |
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12 |
水液分離裝置 |
水液切換程序控制,自動(dòng)分離,操作便捷,清洗水可自動(dòng)排放 |
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13 |
整機(jī)減振 |
防振式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)安裝,設(shè)備更穩(wěn)定 |
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14 |
防護(hù)設(shè)計(jì) |
齒圈、太陽(yáng)輪采用不銹鋼制作,接液盆,托盤(pán)、拋盤(pán)等接觸到工作液的地方均噴涂特氟龍 |
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15 |
供液系統(tǒng) |
桶體設(shè)有排污口,具備溫度、液位監(jiān)測(cè),具有加熱和冷卻功能,具有液泵和攪拌泵,出口設(shè)有過(guò)濾器,管路設(shè)有流量監(jiān)測(cè),能在線實(shí)時(shí)檢測(cè)流量 |
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16 |
自動(dòng)測(cè)厚 |
設(shè)備裝有機(jī)械測(cè)厚系統(tǒng),能在線實(shí)時(shí)檢測(cè)工件加工厚度 |
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17 |
分級(jí)管理 |
密碼分級(jí)管理,不同人員具有不同的操作權(quán)限 |
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18 |
工藝適用性 |
程序控制 |
可儲(chǔ)存多套工藝參數(shù),每套工藝可達(dá)20步,工藝參數(shù)設(shè)置包括(壓力、時(shí)間、速度、速比、緩降壓力、浮動(dòng)時(shí)間等) |
速比搭配 |
四電機(jī)獨(dú)立同步拖動(dòng),上下盤(pán)、內(nèi)齒、外齒(即可正轉(zhuǎn),也可反轉(zhuǎn))轉(zhuǎn)速可任意設(shè)定,具有配方功能 |
產(chǎn)品推薦
公司致力于集設(shè)備、工藝、輔料為一體的設(shè)備銷(xiāo)售業(yè)務(wù);提供國(guó)內(nèi)外各廠商生產(chǎn)的研磨,拋光機(jī)的備件(齒圈,太陽(yáng)輪,研盤(pán),齒輪等)銷(xiāo)售業(yè)務(wù),承攬各類(lèi)研、拋設(shè)備的大修業(yè)務(wù)。我們將竭誠(chéng)為客戶提供性?xún)r(jià)比優(yōu)的產(chǎn)品、快捷的貨期及時(shí)、周到的服務(wù)。
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