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32BF-4M5L精密雙面平面研磨機(jī)
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32BF-4M5L精密雙面平面研磨機(jī)

主要用于半導(dǎo)體、藍(lán)寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨,尤其對(duì)于超薄工件的加工具有明顯的優(yōu)勢(shì)。
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-
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1
產(chǎn)品描述
參數(shù)

一、產(chǎn)品用途

 

    主要用于半導(dǎo)體、藍(lán)寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨,尤其對(duì)于超薄工件的加工具有明顯的優(yōu)勢(shì)。

 

二、安裝條件

 

序號(hào)

項(xiàng)目

指標(biāo)要求

1

環(huán)境

室內(nèi)地面平坦、無(wú)振動(dòng)源、無(wú)灰塵煙霧污染

2

水源

純水或自來(lái)水

3

電源

約70kW  AC380V  50Hz(總功率)

4

氣源

壓縮空氣源 0.6Mpa,接口φ16mm(外徑)

5

溫度

10℃-25℃

6

相對(duì)濕度

≤95%

7

外形尺寸(長(zhǎng)x寬x高)

3700x3000x4100mm(含地腳高度及電器柜尺寸)

8

主機(jī)重量

28000Kg

9

主機(jī)顏色

BH白或訂制

 

三、主要特點(diǎn)

 

序號(hào)

項(xiàng)目

特點(diǎn)

1

壓力控制

運(yùn)動(dòng)控制器+壓力傳感器+電氣比例閥+低摩擦氣缸實(shí)現(xiàn)高精度壓力控制,上盤(pán)最大使用壓力1200Kg,精度可達(dá)2%

2

上盤(pán)調(diào)心

采用萬(wàn)向節(jié)結(jié)構(gòu),調(diào)心靈活,承載力高

3

上盤(pán)防落裝置

雙重機(jī)械鎖定,安全性更高

4

高精度速度控制

自編程實(shí)現(xiàn)低速平穩(wěn)、啟停同步運(yùn)轉(zhuǎn)控制,內(nèi)外齒圈采用伺服控制,速度控制更精準(zhǔn)

5

精密傳動(dòng)系統(tǒng)

高精度小齒隙全齒輪傳動(dòng)

6

下盤(pán)支撐

高精度流體軸承支撐

7

免維護(hù)設(shè)計(jì)

齒輪采用自動(dòng)集中潤(rùn)滑裝置,關(guān)鍵器件采用進(jìn)口知名品牌,軸承留有潤(rùn)滑接口

8

強(qiáng)制散熱系統(tǒng)

軸流風(fēng)機(jī)排熱方式,并預(yù)留抽風(fēng)接口,用戶可自行連接

9

清洗便捷

低臺(tái)面、半裸式接液盆

10

同步升降

齒圈太陽(yáng)輪同步升降,采用伺服電機(jī)拖動(dòng),可自動(dòng)或手動(dòng)調(diào)節(jié)高度,延長(zhǎng)使用壽命

11

游輪精確定位

齒圈太陽(yáng)輪采用伺服電機(jī)拖動(dòng),可實(shí)現(xiàn)游輪的精確定位

12

水液分離裝置

水液切換程序控制,自動(dòng)分離,操作便捷,清洗水可自動(dòng)排放

13

整機(jī)減振

防振式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)安裝,設(shè)備更穩(wěn)定

14

防護(hù)設(shè)計(jì)

齒圈、太陽(yáng)輪采用不銹鋼制作,接液盆,托盤(pán)、拋盤(pán)等接觸到工作液的地方均噴涂特氟龍

15

供液系統(tǒng)

桶體設(shè)有排污口,具備溫度、液位監(jiān)測(cè),具有加熱和冷卻功能,具有液泵和攪拌泵,出口設(shè)有過(guò)濾器,管路設(shè)有流量監(jiān)測(cè),能在線實(shí)時(shí)檢測(cè)流量

16

自動(dòng)測(cè)厚

設(shè)備裝有機(jī)械測(cè)厚系統(tǒng),能在線實(shí)時(shí)檢測(cè)工件加工厚度

17

分級(jí)管理

密碼分級(jí)管理,不同人員具有不同的操作權(quán)限

18

工藝適用性

程序控制

可儲(chǔ)存多套工藝參數(shù),每套工藝可達(dá)20步,工藝參數(shù)設(shè)置包括(壓力、時(shí)間、速度、速比、緩降壓力、浮動(dòng)時(shí)間等)

 

速比搭配

四電機(jī)獨(dú)立同步拖動(dòng),上下盤(pán)、內(nèi)齒、外齒(即可正轉(zhuǎn),也可反轉(zhuǎn))轉(zhuǎn)速可任意設(shè)定,具有配方功能

未找到相應(yīng)參數(shù)組,請(qǐng)于后臺(tái)屬性模板中添加
下一個(gè)

產(chǎn)品推薦

公司致力于集設(shè)備、工藝、輔料為一體的設(shè)備銷(xiāo)售業(yè)務(wù);提供國(guó)內(nèi)外各廠商生產(chǎn)的研磨,拋光機(jī)的備件(齒圈,太陽(yáng)輪,研盤(pán),齒輪等)銷(xiāo)售業(yè)務(wù),承攬各類(lèi)研、拋設(shè)備的大修業(yè)務(wù)。我們將竭誠(chéng)為客戶提供性?xún)r(jià)比優(yōu)的產(chǎn)品、快捷的貨期及時(shí)、周到的服務(wù)。

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